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반도체 : STI - CMP 공정에서 Torn oxide 결함 해결에 관한 연구
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서용진(Yong Jin Seo), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
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반도체 / 슬러리와 패드변화에 따른 텅스텐 플러그 CMP 공정의 최적화
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김상용(Sang Yong Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
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