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고밀도 플라즈마에 의한 CeO₂박막의 식각 메커니즘 연구
고밀도 플라즈마에 의한 CeO₂박막의 식각 메커니즘 연구
오창석, 김창일, | 대한전자공학회 | 2001 ,
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