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TFT-LCD 신호 배선용 Al 박막의 hillock 형성과 미세구조에 미치는 Mo 하부층 두께의 영향
TFT-LCD 신호 배선용 Al 박막의 hillock 형성과 미세구조에 미치는 Mo 하부층 두께의 영향
설재복, | 대한금속.재료학회 | 2006 ,
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