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플라즈마 가스와 RF 파워에 따른 NiO 박막의 우선배향성 및 표면형상 변화
플라즈마 가스와 RF 파워에 따른 NiO 박막의 우선배향성 및 표면형상 변화
류현욱, | 한국재료학회 | 2004 ,
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