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2 Results:AA:박범 AA:박범영 AA:이현섭 AA:김구연 PP:한국전기전자재료학회 0.127 sec.
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CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
김구연, | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
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CMP 결과에 영향을 미치는 마찰 특성에 관한 연구
CMP 결과에 영향을 미치는 마찰 특성에 관한 연구
박범영, | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
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