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CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
김구연, | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
2
CMP 결과에 영향을 미치는 마찰 특성에 관한 연구
CMP 결과에 영향을 미치는 마찰 특성에 관한 연구
박범영, | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
3
CMP 공정에서 마찰에너지가 연라결과에 미치는 영향
CMP 공정에서 마찰에너지가 연라결과에 미치는 영향
이현섭. 박범영, 김구연, | 대한기계학회 | 2004 ,
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