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3 Results:AA:김태형 PP:한국전기전자재료학회 AA:김동표(DONG PYO KIM) 0.77 sec.
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반도체 : CF4 / Ar 플라즈마 내 Cl2 첨가에 의한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 특성
반도체 : CF4 / Ar 플라즈마 내 Cl2 첨가에 의한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 특성
김창일(Chang Il Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
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반도체 ; FRAM 응용을 위한 건조온도에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
반도체 ; FRAM 응용을 위한 건조온도에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
김경태 ( Kyoung Tae Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
3
CI2 / CF4 / Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
CI2 / CF4 / Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
김동표(Dong Pyo Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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