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1 Results:AA:김태송 PP:한국전기전자재료학회 AA:최기용 ( CHOE GI YONG ) 0.114 sec.
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MEMS 적용을 위한 Thermal CVD 방법에 의해 증착한 SiC막의 반응성 이온 Etching 특성 평가
MEMS 적용을 위한 Thermal CVD 방법에 의해 증착한 SiC막의 반응성 이온 Etching 특성 평가
최기용 ( Choe Gi Yong ), | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
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