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DC 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 성막된 IZO 박막의 공정 특성
DC 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 성막된 IZO 박막의 공정 특성
이재환, | 한국물리학회 | 2007 ,
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