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직류 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 투명전도성 ITO 박막의 특성에 미치는 캐소우드 자기장 효과
직류 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 투명전도성 ITO 박막의 특성에 미치는 캐소우드 자기장 효과
류성원, | 한국물리학회 | 2007 ,
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