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GOI 제작을 위한 연마공정이 웨이퍼의 직접 접합력에 미치는 효과
GOI 제작을 위한 연마공정이 웨이퍼의 직접 접합력에 미치는 효과
번영태, | 한국물리학회 | 2006 ,
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