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1 Results:AA:김상기 AA:강필승(PIL SEUNG KANG) 0.109 sec.
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CF4 / O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각
CF4 / O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각
강필승(Pil Seung Kang), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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