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반도체 : CF4 / Ar 가스 플라즈마를 이용한 YMnO3 박막의 식각 반응연구
반도체 : CF4 / Ar 가스 플라즈마를 이용한 YMnO3 박막의 식각 반응연구
김동표(Dong Pyo Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
2
반도체 : 유도결합 CF4/Ar 플라즈마에 의한 Bi4-xLaxTi3O12 박막의 식각 표면 반응
반도체 : 유도결합 CF4/Ar 플라즈마에 의한 Bi4-xLaxTi3O12 박막의 식각 표면 반응
김동표 ( Dong Pyo Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
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CI2 / CF4 / Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
CI2 / CF4 / Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
김동표(Dong Pyo Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
4
전자소자용 전도성 잉크
전자소자용 전도성 잉크
김동표, | 대한기계학회 | 2006 ,
5
MEICP 식각에 의한 SBT 박막의 표면 반응 연구
MEICP 식각에 의한 SBT 박막의 표면 반응 연구
김동표, 김창일, | 대한전자공학회 | 2000 ,
6
반도체 : CF4 / Ar 플라즈마 내 Cl2 첨가에 의한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 특성
반도체 : CF4 / Ar 플라즈마 내 Cl2 첨가에 의한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 특성
김창일(Chang Il Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
7
반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘
반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘
임규태 ( Kyu Tae Lim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
8
반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성
반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성
김관하 ( Gwan Ha Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
9
반도체 ; FRAM 응용을 위한 건조온도에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
반도체 ; FRAM 응용을 위한 건조온도에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
김경태 ( Kyoung Tae Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
10
CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
임규태 ( Kyu Tae Lim ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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