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마이크로 엑츄에이터의 연구동향 : 마이크로 로봇의 연구개발 사례를 중심으로
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김덕호, | 제어.자동화.시스템공학회 | 2001 ,
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마이크로-나노 매니퓰레이션 기술의 동향
마이크로-나노 매니퓰레이션 기술의 동향
김경환, | 제어.자동화.시스템공학회 | 2003 ,
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