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가스센서 적용을 위한 SnO2 박막의 CMP 특성 연구
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이우선, | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
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CMP 패드 컨디셔닝 온도에 따른 산화막의 연마특성
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최권우, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
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산화제 및 연마제 첨가를 통한 Nickel CMP 특성 개선 연구
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최권우, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
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