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가스센서 적용을 위한 SnO2 박막의 CMP 특성 연구
가스센서 적용을 위한 SnO2 박막의 CMP 특성 연구
이우선, | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
2
산화제 첨가에 따른 WO3 박막의 CMP 평탄화 특성
산화제 첨가에 따른 WO3 박막의 CMP 평탄화 특성
이우선, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
3
산화막 CMP 공정에서 슬러리 온도 변화에 따른 연마 특성
산화막 CMP 공정에서 슬러리 온도 변화에 따른 연마 특성
고필주, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
4
CMP 패드 컨디셔닝 온도에 따른 산화막의 연마특성
CMP 패드 컨디셔닝 온도에 따른 산화막의 연마특성
최권우, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
5
산화제 및 연마제 첨가를 통한 Nickel CMP 특성 개선 연구
산화제 및 연마제 첨가를 통한 Nickel CMP 특성 개선 연구
최권우, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
6
DC 마그네트론 스퍼터링 NiCr 박막의 열처리 조건에 따른 미세구조 및 표면특성
DC 마그네트론 스퍼터링 NiCr 박막의 열처리 조건에 따른 미세구조 및 표면특성
권 용, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
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