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1 Results:AA:강영재 PP:한국전기전자재료학회 AA:이상호 0.35 sec.
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Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향
Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향
이상호, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
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