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Metal CMP 용 컨디셔너 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 형상이 미치는 패드 회복력 변화
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김규채, | 한국마이크로전자및 패키징학회 | 2006 ,
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국내 건설산업의 CM/PM 활성화를 위한 제도적 개선 방안
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최석인, | 대한건축학회 | 2006 ,
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Effects of Polymer Adsorption on Stabilities and CMP Performance of Ceria Abrasive Particles
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Norifumi Shimono, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,
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Advanced Pad Conditioner Design for Exide/Metal CMP
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Taewook Hwang, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,
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