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Si(100)기판위에 성장된 3C-SiC 박막의 반응성 이온식각 특성
Si(100)기판위에 성장된 3C-SiC 박막의 반응성 이온식각 특성
정귀상 ( Gwiy Sang Chung ), | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
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