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텅스텐 플러그 CVD 공정에서 SIH4 Soak의 영향 선택
텅스텐 플러그 CVD 공정에서 SIH4 Soak의 영향
이우선 ( Woo Sun Lee )
,
| 한국전기전자재료학회 |
2003
,
소장정보
소장정보
소장정보
등록번호
별치/청구기호
소장처
대출여부
대출정보
AR118763
P
-
참고자료실(관광학관2층)
대출불가
처음
1
마지막
소트
서명순
저자순
발행년도(1-9)
발행년도(9-1)
구분
자료유형
기사
(1)
저자
이우선 ( Woo Sun Lee )
(1+)
출판사
한국전기전자재료학회
(1+)
출판년도
2003
(1)
언어
kor
(1)
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