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압전형 AFM 외팔보의 동적거동 해석
압전형 AFM 외팔보의 동적거동 해석
박성균, 김영호, 하성규, | 한국소음진동공학회 | 2002 ,
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가공면미세결함의 나노 인프로세스 측정을 위한 AFM시스템의 개발
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권현규 최성태, | 대한기계학회 | 2002 ,
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가공면미세결합의 나노 인프로세스 측정을 위한 AFM시스템의 개발
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권현규 최성대, | 대한기계학회 | 2002 ,
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