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CI2 / CF4 / Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
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김동표(Dong Pyo Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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비정질 Sb-Bi-Te 박막의 전기적 특성에 관한 연구
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이재형(Jae Hyeong Lee), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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