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핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 Si 박막의 고상결정화
핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 Si 박막의 고상결정화
황의훈, 정새진, 문용성, | 대한금속.재료학회 | 2000 ,
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