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주사 현미경용 평면 스캐너 Part1 : 설계 및 정.동특성 해석
주사 현미경용 평면 스캐너 Part1 : 설계 및 정.동특성 해석
이동연, 이무연, | 한국소음진동공학회 | 2005 ,
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