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반경험적인 실험설계 기법을 이용한 CMP 공정 변수의 최적화

반경험적인 실험설계 기법을 이용한 CMP 공정 변수의 최적화

이경진 ( Kyoung Jin Lee ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,

Status Info

Status Info
등록번호	별치/청구기호	소장처	대출여부	대출정보
AR118699	P -	참고자료실(관광학관2층)	대출불가

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Сортировка

Очистить

Формат

기사 (1)

Автор

이경진 ( Kyoung Jin Lee ) (1+)

Издатель

한국전기전자재료학회 (1+)

Год

2002 (1)

Язык

kor (1)