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CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응

CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응

임규태 ( Kyu Tae Lim ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,

状态信息

状态信息
등록번호	별치/청구기호	소장처	대출여부	대출정보
AR118729	P -	참고자료실(관광학관2층)	대출불가

1

排序

提炼

材料类型

기사 (1)

笔者

임규태 ( Kyu Tae Lim ) (1+)

出版商

한국전기전자재료학회 (1+)

出版年

2002 (1)

语言

kor (1)