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Au-Sn 공정 접합을 이용한 RF MEMS 소자의 Hermetic 웨이퍼 레벨 패키징
Au-Sn 공정 접합을 이용한 RF MEMS 소자의 Hermetic 웨이퍼 레벨 패키징
Qian Wang, 김운배, 좌성훈, 정규동, 황준식, 이문철, 문창렬, 송인상, | 한국마이크로전자및 패키징학회 | 2005 ,
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SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프
SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프
이문철, 강석진, 정규동, 좌성훈, 조용철, | 한국마이크로전자및 패키징학회 | 2005 ,
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MEMS/MST 고속 회전체 요소의 안정성에 관한 연구
MEMS/MST 고속 회전체 요소의 안정성에 관한 연구
이용복, 곽현덕, 김창호, | 한국소음진동공학회 | 2001 ,
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MEMS 기술을 이용한 마이크로 음향센서
MEMS 기술을 이용한 마이크로 음향센서
노용래, | 한국소음진동공학회 | 2001 ,
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광통신 MEMS 소자의 구조 및 진동 특성 분석
광통신 MEMS 소자의 구조 및 진동 특성 분석
이종현, | 한국소음진동공학회 | 2001 ,
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연성된 MEMS 자이로스코프 모델의 설계를 위한 진동 해석
연성된 MEMS 자이로스코프 모델의 설계를 위한 진동 해석
방선호, 신상하, 유홍희, | 한국소음진동공학회 | 2004 ,
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MEMS 자이로스코프 센서의 신뢰성 문제
MEMS 자이로스코프 센서의 신뢰성 문제
최민석, 좌성훈. 김종석, | 대한기계학회 | 2004 ,
18
DDMS를 이용한 MEMS 구조물의 새로운 점착방지 방법
DDMS를 이용한 MEMS 구조물의 새로운 점착방지 방법
김봉환, 오창훈, 전국진, | 대한전자공학회 | 2000 ,
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CPW MMIC 칩 실장을 위한 실리콘 MEMS 패키지 설계
CPW MMIC 칩 실장을 위한 실리콘 MEMS 패키지 설계
김진양, 김성진, 이해영, | 대한전자공학회 | 2002 ,
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MEMS 신뢰성 평가 기술의 현황과 필요성
MEMS 신뢰성 평가 기술의 현황과 필요성
박준협, | 대한기계학회 | 2003 ,
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