자료유형  

 참고자료

청구기호  

569.4 서883초

저자명  

서택윤일

서명/저자  

超LSI技術, 3. : 반도체プロセス / 西澤潤一 편저.

발행사항  

동경 : 工業調査會, 1979.

형태사항  

v. : 삽도 ; 23 cm.

총서명  

반도체연구 ; 16

서지주기  

권말 색인 수록

키워드  

超LSI 技術

기타서명  

반도체プロセス

가격  

98000

Control Number  

kjul:92543