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다중 시계열 패턴인식을 이용한 반도체 생산장치의 지능형 감시시스템
다중 시계열 패턴인식을 이용한 반도체 생산장치의 지능형 감시시스템
Detailed Information
MARC
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■1001 ▼a이중재 ( Joong Jae Lee )
■24510▼a다중 시계열 패턴인식을 이용한 반도체 생산장치의 지능형 감시시스템▼d이중재 ( Joong Jae Lee )▼e권오범 ( O Bum Kwon ) , 김계영 ( Gye Young Kim ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국정보처리학회▼c2004.
■300 ▼app. 709-716
■500 ▼a참고문헌수록
■7001 ▼a권오범 ( O Bum Kwon ) , 김계영 ( Gye Young Kim )
■773 ▼t정보처리학회논문지 D=The KIPS Transations : Part D▼g제11-D권 제3호 (통권 제92호)(2004년 6월)▼d2004, 06
■856 ▼uhttp://kips.or.kr
■SIS ▼aS016094▼b60058779▼h8▼s2▼fP


