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센서 , 기능성박막 : 플라즈마 중합법에 의한 헥사메틸디실록산 박막의 전기적 특성
센서 , 기능성박막 : 플라즈마 중합법에 의한 헥사메틸디실록산 박막의 전기적 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 센서 , 기능성박막 : 플라즈마 중합법에 의한 헥사메틸디실록산 박막의 전기적 특성 / 이상희(Sang Hee Lee) , 이덕출(Duck Chool Lee) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 43-47
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 기타저자
- 이덕출(Duck Chool Lee)
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235269
MARC
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