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센서 , 기능성박막 : 비정질 기판위에 증착한 KLN 박막의 기판온도에 의한 영향
센서 , 기능성박막 : 비정질 기판위에 증착한 KLN 박막의 기판온도에 의한 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 센서 , 기능성박막 : 비정질 기판위에 증착한 KLN 박막의 기판온도에 의한 영향 / 박성근(Sung Kun Park) , 최병진(Byung Jin Choi) , 홍영호(Young Ho Hong) , 전병억(Byeong Eok Jun) , 김진수(Jin Soo Kim) , 백민수(Min Soo Baek) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 34-42
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235268
MARC
008191015s2001 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a박성근(Sung Kun Park)
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■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
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