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반도체 : 0.12μm 설계 규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM
반도체 : 0.12μm 설계 규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 박기천(Ki Chon Park)
- Title/Author
- 반도체 : 0.12μm 설계 규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM / 박기천(Ki Chon Park) ; 오용호(Yong Ho Oh) , 임성우(Sung Woo Lim) , 고춘수(Chun Soo Go) , 이재철(Jai Cheol Lee) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- Material Info
- pp. 6-11
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 오용호(Yong Ho Oh) , 임성우(Sung Woo Lim) , 고춘수(Chun Soo Go) , 이재철(Jai Cheol Lee)
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제14권 제1호 (2001년 1월) 2001, 01
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235260
MARC
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