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반도체 : STI - CMP 공정에서 Torn oxide 결함 해결에 관한 연구
반도체 : STI - CMP 공정에서 Torn oxide 결함 해결에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : STI - CMP 공정에서 Torn oxide 결함 해결에 관한 연구 / 서용진(Yong Jin Seo) , 정헌상(Hun Sang Chung) , 김상용(Sang Yong Kim) , 이우선(Woo Sun Lee) , 이강현(Kang Hyun Lee) , 장의구(Eui Goo Chang) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 1-5
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235258
MARC
008191015s2001 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a서용진(Yong Jin Seo)
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■7001 ▼a정헌상(Hun Sang Chung) , 김상용(Sang Yong Kim) , 이우선(Woo Sun Lee) , 이강현(Kang Hyun Lee) , 장의구(Eui Goo Chang)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제14권 제1호 (2001년 1월)▼d2001, 01
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014431▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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