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센서 기능박막 / 전기화학적 식각정지에 의한 SDB SOI 기판의 제작
센서 기능박막 / 전기화학적 식각정지에 의한 SDB SOI 기판의 제작
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 센서 기능박막 / 전기화학적 식각정지에 의한 SDB SOI 기판의 제작 / 정귀상(Gwiy Sang Chung) , 강경두(Kyung Doo Kang) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 431-436
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 기타저자
- 강경두(Kyung Doo Kang)
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235250
MARC
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■7001 ▼a강경두(Kyung Doo Kang)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제13권 제5호 (2000년 5월)▼d2000, 05
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014423▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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