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반도체 / 메모리 소자 응용을 위한 펄스 레이저 증착법으로 제작된 PLT 박막의 열처리 효과
반도체 / 메모리 소자 응용을 위한 펄스 레이저 증착법으로 제작된 PLT 박막의 열처리 효과
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 / 메모리 소자 응용을 위한 펄스 레이저 증착법으로 제작된 PLT 박막의 열처리 효과 / 허창회(Chang Hoi Hur) , 심경석(Kyung Suk Shim) , 이상렬(Sang Yeol Lee) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 725-728
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235152
MARC
008191014s2000 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■7001 ▼a심경석(Kyung Suk Shim) , 이상렬(Sang Yeol Lee)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제13권 제9호 (2000년 9월)▼d2000, 09
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014427▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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