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실리콘 기판위에 플라즈마 분자선 에피택시를 이용하요 성장된 질화알루미늄 박막의 특성분석
실리콘 기판위에 플라즈마 분자선 에피택시를 이용하요 성장된 질화알루미늄 박막의 특성분석
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 실리콘 기판위에 플라즈마 분자선 에피택시를 이용하요 성장된 질화알루미늄 박막의 특성분석 / 홍성의(Sung Ui Hong) , 한기평(Gee Pyeong Han) , 백문철(Mun Chel Paek) , 조경익(Kyung Ik Cho) , 윤순길(Soon Gil Yoon) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 828-833
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235142
MARC
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