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플라즈마 화학기상 증착방식으로 성장시킨 비정질 실리콘 카바이드 박막의 열처리 효과에 관한 특성분석
플라즈마 화학기상 증착방식으로 성장시킨 비정질 실리콘 카바이드 박막의 열처리 효과에 관한 특성분석
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 박문기(Mun Gi Park)
- 서명/저자
- 플라즈마 화학기상 증착방식으로 성장시킨 비정질 실리콘 카바이드 박막의 열처리 효과에 관한 특성분석 / 박문기(Mun Gi Park) , 김용탁(Yong Tak Kim) , 최원석(Won Seok Choi) , 윤대호(Dae Ho Yoon) , 홍병유(Byoung You Hong) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 817-821
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235140
MARC
008191014s2000 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제13권 제10호 (2000년 10월)▼d2000, 10
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014428▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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