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탈이온수의 압력과 정제된 N2 가스가 ILD - CMP 공정에 미치는 영향
탈이온수의 압력과 정제된 N2 가스가 ILD - CMP 공정에 미치는 영향
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 김상용(Sang Yong Kim)
- Title/Author
- 탈이온수의 압력과 정제된 N2 가스가 ILD - CMP 공정에 미치는 영향 / 김상용(Sang Yong Kim) ; 이우선(Woo Sun Lee) , 서용진(Yong Jin Seo) , 김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang) , 박진성(Jin Sung Park) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- Material Info
- pp. 812-816
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 이우선(Woo Sun Lee) , 서용진(Yong Jin Seo) , 김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang) , 박진성(Jin Sung Park)
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제13권 제10호 (2000년 10월) 2000, 10
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235139
MARC
008191014s2000 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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