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스퍼터링으로 퇴적시킨 바나듐 산화막의 구조적 , 광학적 특성에 미치는 산소 어닐링의 효과
스퍼터링으로 퇴적시킨 바나듐 산화막의 구조적 , 광학적 특성에 미치는 산소 어닐링의 효과
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 스퍼터링으로 퇴적시킨 바나듐 산화막의 구조적 , 광학적 특성에 미치는 산소 어닐링의 효과 / 최복길(Bok Gil Choi) , 최창규(Chang Kyu Choi) , 김성진(Sung Jin Kim) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 1003-1010
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235128
MARC
008191014s2000 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a최복길(Bok Gil Choi)
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제13권 제12호 (2000년 12월)▼d2000, 12
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014430▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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