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자장강회도니 유도결합 플라즈마를 이용한 ( Ba , Sr ) TiO3 박막의 식각 특성 연구
자장강회도니 유도결합 플라즈마를 이용한 ( Ba , Sr ) TiO3 박막의 식각 특성 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 자장강회도니 유도결합 플라즈마를 이용한 ( Ba , Sr ) TiO3 박막의 식각 특성 연구 / 민병준(Byung Jun Min) , 김창일(Chang Il Kim) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 996-1002
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 기타저자
- 김창일(Chang Il Kim)
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235127
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제13권 제12호 (2000년 12월)▼d2000, 12
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