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블츠만방정식과 몬테칼로법에 의한 SiH4-Ar 혼합가스의 전자수송계수에 관한 연구
블츠만방정식과 몬테칼로법에 의한 SiH4-Ar 혼합가스의 전자수송계수에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 하성철
- 서명/저자
- 블츠만방정식과 몬테칼로법에 의한 SiH4-Ar 혼합가스의 전자수송계수에 관한 연구 / 하성철 , 전병훈 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 169-174
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 전병훈
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235089
MARC
008191011s2001 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제14권 제2호 (2001년 2월)▼d2001, 02
■856 ▼uhttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014432▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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