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유도결합 플라즈마를 이용한 YMnO3 박막의 건식 식각 특성 연구
유도결합 플라즈마를 이용한 YMnO3 박막의 건식 식각 특성 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 민병준
- 서명/저자
- 유도결합 플라즈마를 이용한 YMnO3 박막의 건식 식각 특성 연구 / 민병준 , 김창일, 장의구 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 93-98
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 김창일, 장의구
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235075
MARC
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■7001 ▼a김창일, 장의구
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제14권 제2호 (2001년 2월)▼d2001, 02
■856 ▼uhttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014432▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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