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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 amorphous carbon 박막의 전계전자방출
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 amorphous carbon 박막의 전계전자방출
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김연보
- 서명/저자
- RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 amorphous carbon 박막의 전계전자방출 / 김연보 , 류정탁, K . Oura 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 234-240
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 류정탁, K . Oura
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235070
MARC
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