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전기화학적 식각정지에 의한 고수율 실리콘 박막 멤브레인 제작
전기화학적 식각정지에 의한 고수율 실리콘 박막 멤브레인 제작
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 정귀상
- 서명/저자
- 전기화학적 식각정지에 의한 고수율 실리콘 박막 멤브레인 제작 / 정귀상 , 박진성, 이원재, 송재성 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 223-227
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 박진성, 이원재, 송재성
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235068
MARC
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