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인가 바이어스 조건이 전기화학적 식각정지 특성에 미치는 영향
인가 바이어스 조건이 전기화학적 식각정지 특성에 미치는 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 정귀상
- 서명/저자
- 인가 바이어스 조건이 전기화학적 식각정지 특성에 미치는 영향 / 정귀상 , 강경두, 김태송, 이원재, 송재성 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 263-268
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 강경두, 김태송, 이원재, 송재성
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235047
MARC
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