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센서 , 기능성 박막 : RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 SAW 필터에 관한 연구
센서 , 기능성 박막 : RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 SAW 필터에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 센서 , 기능성 박막 : RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 SAW 필터에 관한 연구 / 박용욱(Yong Wook Park) , 신현용(Hyun Yong Shin) , 박정흠(Jeong Heum Park) , 강종윤(Chong Yun Chang) , 심성훈(Sung Hun Sim) , 최지원(Ji Won Choi) , 윤석진(Seok Jin Yoon) , 김현재(Hyun Jai Kim) , 김경환(Kyung Hwan Kim) , 최형욱(Hyung Wook Choi) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 481-486
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234972
MARC
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■1001 ▼a박용욱(Yong Wook Park)
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제14권 제6호 (2001년 6월)▼d2001, 06
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■SIS ▼aS014436▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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