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반도체 : CMP 공정에서 마이크로 스크래치 감소를 위한 슬러리 필터의 특성
반도체 : CMP 공정에서 마이크로 스크래치 감소를 위한 슬러리 필터의 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : CMP 공정에서 마이크로 스크래치 감소를 위한 슬러리 필터의 특성 / 김철복(Chul Bok Kim) , 김상용(Sang Yong Kim) , 서용진(Yong Jin Seo) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 557-565
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234956
MARC
008191010s2001 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김철복(Chul Bok Kim)
■24510▼a반도체 : CMP 공정에서 마이크로 스크래치 감소를 위한 슬러리 필터의 특성▼d김철복(Chul Bok Kim)▼e김상용(Sang Yong Kim) , 서용진(Yong Jin Seo) 공저
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■7001 ▼a김상용(Sang Yong Kim) , 서용진(Yong Jin Seo)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제14권 제7호 (2001년 7월)▼d2001, 07
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014437▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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