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센서 , 기능성박막 : SOI 멤브레인과 트랜치 구조상에 제작된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 특성
센서 , 기능성박막 : SOI 멤브레인과 트랜치 구조상에 제작된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 센서 , 기능성박막 : SOI 멤브레인과 트랜치 구조상에 제작된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 특성 / 정귀상(Gwiy Sang Chung) , 김미목(Mi Mok Kim) , 남태철(Tae CHul Nam) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 658-662
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234942
MARC
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