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센서 , 기능성박막 : SOI 멤브레인과 트랜치 구조상에 제작된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 특성
센서 , 기능성박막 : SOI 멤브레인과 트랜치 구조상에 제작된 발열저항체형 마이크로 유량센서의...
센서 , 기능성박막 : SOI 멤브레인과 트랜치 구조상에 제작된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 특성

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12267945
저자명  
정귀상(Gwiy Sang Chung)
서명/저자  
센서 , 기능성박막 : SOI 멤브레인과 트랜치 구조상에 제작된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 특성 / 정귀상(Gwiy Sang Chung) , 김미목(Mi Mok Kim) , 남태철(Tae CHul Nam) 공저
발행사항  
서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
형태사항  
pp. 658-662
주기사항  
참고문헌수록
기타저자  
김미목(Mi Mok Kim) , 남태철(Tae CHul Nam)
기본자료저록  
전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제14권 제8호 (2001년 8월) 2001, 08
원문정보  
 url
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60234942

MARC

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