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반도체 : CI2/O2 가스에 의한 크롬 박막의 식각 특성 고찰
반도체 : CI2/O2 가스에 의한 크롬 박막의 식각 특성 고찰
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : CI2/O2 가스에 의한 크롬 박막의 식각 특성 고찰 / 박희찬(Hee Chan Park) , 강승열(Seung Youl Kang) , 이상균(Sang Kyun Lee) , 최복길(Bok Gll Choi) , 권광호(Kwang Ho Kwon) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 634-639
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234932
MARC
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